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「嚴重地層下陷區」的起源
- 2005年，扁政府提出《國土復育條例》草案，欲劃定「國土復育促進區」來推動國土復育計畫。國土復育促進區的類別即包括「嚴重地層下陷地區」一項。當時規劃，嚴重地層下陷地區禁止鑿井及抽取地下水等新開發行為；已形成溼地者，應維持其型態，並得徵收開闢為淡水人工湖、滯（蓄）洪池、復育溼地或自然公園，養殖漁業應輔導為海水養殖或休養。
但《國土復育條例》草案在立院爭執不休；同一時間，行政院則另提出「國土復育策略方案暨行動計畫」，讓行政部門在既有職權內推動相關政策。
經濟部依此政策制訂《嚴重地層下陷地區劃設作業規範》，依地層下陷累積總量、下陷年平均速率、對防洪、排水、禦潮或環境產生重大影響等相關因素，劃設「嚴重地層下陷地區」。
- 2008年政黨輪替，馬政府傾向將《國土復育條例》併入《國土計畫法》，後停止《國土復育條例》立法程序，並停止「國土復育策略方案暨行動計畫」。
- 2009年8月8日的莫拉克風災，屏東地層下陷區災損嚴重，屏東縣政府推動「養水種電」的國土復育計畫，2010 年3月行政院經建會專案核定「屏東縣政府嚴重地層下陷區與莫拉克風災受創土地設置太陽光電發電系統專案」，希望輔導魚塭業者轉型，不要養魚以避免抽取地下水，而將無法使用的魚塭和蓮霧園土地租給電廠，以期減少地層下陷、土地鹽化等問題，使已下陷的土地休養再生。（參考）（泛科學、上下游）
農地允許設光電
- 2013年，農委會修正《申請農業用地作農業設施容許使用審查辦法》，將「綠能設施」列為允許設置於農地的設施。
「農地」有「農用」的最高原則，除了將農地變更為其它使用目的的土地以外，若欲在農地上設置綠能設施，受法令的高度規範，大致可分為兩大情況，一種是在不影響農業的前題下，讓綠能結合農業經營；另一種則是對於受污染、持續地層下陷等農地，透過一段時間的允許作再生能源使用，以期土地恢復正常的地力。
《容許辦法》第28條允許屋頂型光電。第29條規範結合農業經營的地面型光電（農電共生、漁電共生）。第30條則允許在經濟部公告的「嚴重地層下陷地區」等，不需結合農業經營的地面型光電。
- 2015年8月12日，農委會修正《容許辦法》第30條，對「經濟部公告之嚴重地層下陷地區」加上「不利耕作之農業用地」之條件；「不利耕作之農業用地」由農委會公告之。
農委會表示，經濟部公告之嚴重地層下陷地區範圍內，仍有大部分農業用地屬大面積完整之優良農地，原則應引導優先作農業使用，原條文通則允許嚴重地層下陷地區設置光電，有違農地優先農用的原則。
- 2015年8月14日，農委會公告「嚴重地層下陷地區內不利耕作得設置綠能設施之農業用地範圍」。這第一波的公告共計18區，總面積1,253公頃。（參考）
《國土計畫法》施行
- 2016年公布施行《國土計畫法》，原《國土復育條例》草案中「國土復育促進區」、「嚴重地層下陷地區」等內容，被併入《國土計畫法》第5章。
「嚴重地層下陷地區」等「國土復育促進區」經劃定後，應以保育和禁止開發行為及設施之設置為原則，並擬訂復育計畫。
- 2017年6月13日，經濟部修正《地下水管制辦法》，將地下水管制區區分為第一級管制區及第二級管制區，第一級管制區有較高強度的管制。
8月底，經濟部廢止「嚴重地層下陷地區」與《劃設作業規範》，並表示「嚴重地層下陷地區」廢止後，各機關依業務考量可參依「地下水管制區第一級管制區」替代。
- 2017年6月28日，農委會修正《申請農業用地作農業設施容許使用審查辦法》第30條，將「不利耕作」一詞修改為「不利農業經營」；劃設程序則改為先由地方劃設後、送農委會審議；並加上設施面積不得超過所坐落之農業用地土地面積7成之限制。
- 2017年9月21日，農委會公告第二波「嚴重地層下陷地區內不利農業經營得設置綠能設施之農業用地範圍」，新增20區，新增面積1,130公頃（公告）
- 2018年3月16日，農委會對第8至13區共6區，把「養殖漁業生產區範圍」劃出。
農委會表示，原公告範圍與養殖漁業生產區有重疊，農委會已投入大量經費興建公共工程建設、優化漁業生產環境之地區，應劃出得設置綠能設施之範圍，以維持養殖漁業生產區範圍。（公告）
- 2019年公布《國土復育促進地區劃定及復育計畫擬訂辦法》，規定目的事業主管機關劃設國土復育促進區後，應應擬訂復育計畫，並載明劃定依據、計畫年期、劃定目的、復育標的、執行事項、禁止相容與限制及土地使用建議事項……等。